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PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

產品型號:D-015

廠商性質:經銷商

瀏覽次數(shù):823

更新時間:2024-05-14

簡要描述:

PI電容式位移傳感器Physik Instrumente,電容(電容式)位移傳感器是測量、高動態(tài)納米計量器件,可提供高的線性度和精度。PI電容傳感器/信號調理器電子元件利用高頻交流激勵信號來增強帶寬和無漂移測量穩(wěn)定性(可以在幾個小時內實現(xiàn)亞納米級穩(wěn)定性)。為了提供精度等級更高、分辨率優(yōu)于一納米的納米定位系統(tǒng),PI開始開發(fā)電容式位置傳感器件。

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PI電容式位移傳感器Physik Instrumente
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PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應用

·         測量范圍達 1000 μm

·         分辨率高達 0.01 nm

·         線性誤差高達 0.01 %,采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件,兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應用領域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內實現(xiàn)皮度計的分辨率。理論測量分辨率是無限的。在實踐中,散射輻射、幾何效應和測量電子噪聲會影響可實現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件,D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)(100μm)為0.02 nm/?Hz。例如,對應于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調帶寬高達3 kHz。

除了此處列出的標準傳感器外,PI還提供定制版本,例如測量,幾何形狀,材料,電子等。

電容式測距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見:單電極傳感器和兩電極傳感器。

雙電極傳感器可以實現(xiàn)更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個導電表面和高頻(>100kHz)交流電,在它們之間產生均勻的電場。電容與有效表面除以距離成正比。對于給定區(qū)域,測量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理,并且可以針對各種導電表面進行測量。

PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

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